概要
温度成層を利用し、生産領域高さまでを目標清浄度以下に保持します。コアンダ効果（気流が床面に引き寄せられるように流れる現象）を利用し清浄気流を広範囲に供給可能です。クリーンユニットの配置により天吊り型のBroDOUP™-CEと床置き型のBroDOUP™-FLの2つのラインナップを展開しております。
- BroDOUP™-CE（天吊り型）
クリーンユニット（ドライコイルとファンフィルタユニット）を天井から吊る形で設置したシステムです。下向きに冷風を吹き、コアンダ効果により気流を床面に沿って流動させます。クリーンユニット下部を含めクリーンルームの利用面積を大きくとれることが特徴です。
- BroDOUP™-FL（床置き型）
クリーンユニット（ドライコイル、送風機、高性能フィルタ）を床に設置するシステムで、こちらもコアンダ効果により清浄気流を広範囲に供給します。ドライコイルと冷水配管を生産装置から離隔できるため生産装置の水濡れリスクを低減でき、床置き設置のため施工が容易となるメリットがあります。
用途
- クリーンルーム
特許情報
- 特許第7580894号
- 特許第7631570号
