エコノフォグ クリーンルーム向け水噴霧加湿 ビル空調衛生事業 産業空調事業 大規模クリーンルームにおいて、霧（10μm）を噴霧し冬期の加湿冷却を行います。 特許 特願2003-207708 特願2006-285089 実績 テラプローブ九州様 関連資料 半導体・FPD工場向け省エネルギー水噴霧加湿冷却システム Econo-Fog エコノフォグ (PDF: 240KB) 想定対象施設 食品工場 医薬工場 自動車工場 機械工場 半導体工場 その他工場プラント 物流倉庫 事務所 商業施設 宿泊施設集合住宅 医療施設 試験･研究施設 教育施設 文化施設 空港・鉄道 上水工業用水施設 下水処理場 廃棄物処理施設 データセンター
