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プレスリリース

2008年10月16日

クリーンルーム外調機省エネ制御システム「ロードリセッ太」の開発
−再熱に係る年間ランニングコストの半減を可能にする−

  三機工業株式会社(社長:有馬 修一郎)は、半導体工場やFPD(フラットパネルディスプレイ)工場などのクリーンルームを対象に熱負荷に応じた外気調和機(以下、外調機)の制御を行う、クリーンルーム外調機省エネ制御システム「ロードリセッ太」を開発しました。

●背景
 一般的に外調機は、複数エリアに対して温・湿度を一定にコントロールするために、熱負荷の低いエリアにあわせて給気しています。各エリアの熱負荷が変動すること等を建物運用者が想定して、外調機の給気温度を必要以上に高く設定しているのが実状で、加熱目的に多くのエネルギーを消費していました。
 一方で熱負荷の高いエリアでは、低いエリア向けに必要以上に加熱された分も含めて冷却するため、冷却目的で多くのエネルギーを消費していました。
    *クリーンルームとは
     塵埃濃度や温・湿度も一定にコントロールされ、多くの生産装置が設置されている空間です。この生産装置からの発熱に伴う室内の温度上昇を処理するために、常に冷房を行う必要があります。
    *外調機(外気調和機)とは
     外気中に含まれるチリ等(塵埃)の除去や温・湿度調整およびエリア内の陽圧を確保する装置です。
●システムの概要
 本システムは、外調機から給気される温度を必要以上に高くするのではなく、各エリアの発熱負荷を監視しつつ最適に調整します。これに伴って、各エリアの再冷却する温度の幅も小さくなります。この結果、混合ロスを大幅に低減し(蒸気等の温熱源節約、電気等の冷熱源節約)、省エネルギーを図るものです(再熱に係る分を半減(従来システムとの相対値)、同量の冷熱(絶対値)を削減)。
 以下(1)〜(3)の動作を一定時間ごとに繰り返して、給気温度選定の最適化を行います。
システムの動作
本システムの運転
●特長
  1. 高い省エネ効果
    基本制御に以下を組み込むことにより、各エリアの温度制御精度を損なわずに、外調機給気温度の適正化を実現します。
    • 室温制御精度レベルを負荷変動追随型(高い温度制御が要求される室に適用、例えば23℃±1.0℃の室)か、省エネ重視型(前記よりも温度制御範囲が緩い室に適用、例えば23℃±2.0℃)かをエリアごとに選択することができます。
    • 冷水バルブ開度を均一化することにより、給気する外気を過度に加熱する必要がなくなります。

  2. シンプルなシステム構成(信頼性)
    従来の制御に省エネコントローラおよび付帯機器を追加し、以下の設定を加えるのみと非常にシンプルなシステムです。
    • 外調機において、給気温度の設定値のみを変更
    • 外気ダンパにおいて、外気の総量は変えずに分配量のみを変更

  3. 給気温度の設定作業を最適に自動化
    従来、給気温度の設定変更は、空調システムに習熟した設備管理者が、一定期間ごとに経験的に『手動』で行っていました。しかし、本システムを導入することによって、リアルタイムに合理的にかつ『自動』で行うことが可能となります。
●費用対効果
 本システムの単純投資回収年数は、物件規模によりますが約2年であり、コストメリットと省エネ効果が非常に高いシステムと言えます。例えば、バルブやダンパの制御が合計20点×2系統で、従来システムに加わる分の初期費用は約600万円に対し、光熱費は、年間約300万円の削減が見込めます。
●今後の展開
 すでに半導体工場に1件(オムロン株式会社 野洲事業場のマイクロデバイス事業部 クリーンルーム)導入済みであり、ほか数件において計画中です。
 今後、新築工事をはじめとしてリニューアル工事についても同システムを積極的に取り入れ、「京都議定書(本年4月第一約束期間開始)」に基づく温室効果ガス削減に貢献できる技術として、市場拡大とサービスの拡充を図り、事業展開する予定です。
(特許出願中)
<お問合わせ>
  建設設備事業本部 東京支社 TEL 03-3271-7008
  技術開発本部 TEL 046-276-3911
以上


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