| 2005年10月19日 |
半導体・FPD工場向け
省エネルギー水噴霧加湿冷却システム「Econo-Fog(エコノ フォグ)」の開発
−室内を濡らさずに直接水を噴霧する−
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| 三機工業株式会社（社長：宅 清光）は半導体工場やFPD（フラットパネルディスプレイ）工場などの大規模クリーンルームを対象とした省エネルギ−水噴霧加湿冷却システム「Econo-Fog(エコノ フォグ)」を開発しました。 |
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このシステムは、1,000m2以上の大規模クリーンルームにおける冬期の加湿冷却システムで、水を嫌うクリーンルーム内の循環空気に、直接水を噴霧して加湿することを可能にしました。
| (1) |
加湿に必要であった蒸気などの温熱源に対するイニシャル，ランニングコストの削減。 |
| (2) |
霧の気化熱による冷却効果による、クリーンルーム内の冷熱源ランニングコストの削減。 |
この2つの作用で二重の省エネルギー効果があります。
また、シンプルな設備なので、新築工場はもちろんのこと、既設の工場への導入も容易にでき、コストやエネルギーはもちろんのことCO2削減にも多大な効果がある省エネ対策技術として積極的な展開を図ります。 |
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| 開発の背景 |
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半導体・FPD工場などのクリーンルームは年間冷房が必要で、床面積あたりの冷房負荷と、外気の取り込みにかかる空調機負荷は一般事務所ビルの約10倍といずれも大きのが特長です。
特に冬期は、クリーンルーム内は冷房しているにもかかわらず、取り入れた外気については、加熱・加湿しなければなりません、そのため冷・温熱源の同時運転が必要でコスト・エネルギーともにムダがありました。
冬期にクリーンルーム内の湿度を保つための加湿システムは
(1)低温、低湿度の外気を加湿するために蒸気加湿用のボイラーが必要である。
(2)エアーワッシャ−を外調機に組み込んだ場合にも空気を30°Cまで昇温する必要がある。
(3)冷却水等を用いた外気余熱システムでは(2)の加熱には十分ではない。（約25°Cが上限）
などの課題がありました。 |
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| システムの概要 |
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本システムは、水を微細噴霧するノズル、水量および空気量を制御する比例制御弁、湿度センサ、制御装置から構成されています。電気・電子部品をあつかう半導体工場やFPD工場では水は大敵であり、空気中に噴霧した水滴をすばやく完全に気化させなければなりません。
このためノズルには平均粒径5〜20µmの微細噴霧が可能な「二流体型ノズル」を用い、これをレタンシャフトや床下スペースに設置し「十分なストロークを確保」して気化させ、「濡れ」の問題を解決しました。また、クリーンルーム内を適正湿度にコントロールし、コストのかかる圧縮空気量を最低限に抑制するための手段として「二流体同時比例制御方式（特許出願中）」を考案し、優れた制御性能を確保しています。
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| 特長 |
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(1)加湿用の温熱源（ボイラー等）が不要となり、イニシャル，ランニングコストの削減
(2)冬期（11月〜4月の半年間）は、空調用熱源のランニングコストが約20%削減
(3)単純償却年数2年〜3年で回収可能
(4)既存工場では、生産ラインを止めることなくシステム導入が可能 |
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| 今後の展開 |
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すでに半導体工場に1件導入済みであり、他に数件のリニューアル物件について計画中です。
今後、新築工事をはじめとしてリニューアル工事についても同システムを積極的に取り入れ、本年2月発効された「京都議定書」に基づくCO2に代表される温室効果ガス削減に貢献できる技術として、市場拡大とサービスの拡充を図り、事業展開する予定です。 |
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| ■本件に関するお問い合わせ： |
三機工業株式会社
 技術開発本部 建設設備グループ |
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TEL:046-276-3911 |
| エンジニアリング事業部 営業部 |
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TEL:03-3271-6930 |
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| 以上 |
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