三機工業株式会社∥プレスリリース―局所清浄化ニーズに対応した“多用途クリーンブース”販売開始―

2005年8月11日

局所清浄化ニーズに対応した“多用途クリーンブース”販売開始
　

　三機工業株式会社（社長：宅　清光）は、独自開発した多用途クリーンブースの販売を開始しました。これにより電子デバイス工場の局所清浄化への対応力を強化していく方針です。
昨年発表した簡易組立型クリーンルーム「スピードキヤビン30」と併せて、製品・技術のラインアップの拡充を図り、多様化するクリーンルーム電子精密産業などの市場で幅広い需要を獲得する方針です。

最近の電子デバイス工場では超微細加工に加え、コスト・ダウン、省エネルギーの観点からミニエン（局所清浄）化の傾向も高まっています。これによりクリーンルーム全体の清浄度をクラス1000程度に抑え、必要な空間だけ局所的に高清浄化が進んでいます。

　当社は従来より多くの大規模クリーンルームの設計・施工を手掛けており、その実績は業界トップクラスです。設計・施工にあたっては、メーカー一括発注ではなく自社設計の内装部材（間仕切・天井・床部材など）を直接調達することで、低コスト化を図るとともに、組立工法の改善により工期短縮を実現しています。これらの部材や工法では数多くの特許も取得しています。

　こうした実績をもとに開発した「多用途クリーンブース」は、

　　　 ― 簡単に移動できて生産装置のメンテナンス時などに対応する可動型ブース
　　　 ― オープナー等を設置している空間を清浄化する単独型ブース
　　　 ― 生産装置のインターフェース用

　以上3タイプがある。
この3タイプとも、清浄度クラス1000の周囲環境で、クラス1相当の局所清浄化が可能です。
価格は：幅2×奥行き1×高さ1.5mの製品で100万円から。
　現在のクリーンルームは、限られたスペースで効率的な空間に設備を導入できる製品・技術が求められ競争力の源泉になっています。
当社のクリーンブースは

①	ユーザーが求めている細かなサイズの微調整などに簡単に対応できる「イージーオーダー」が大きな特徴となっています（生産装置個別のサイズに対応可能）。
②	当社オリジナル内装部材により、軽量化・高強度・低コスト化の実現
③	キャスター付きで移動可能
④	壁面のパネル、窓（ポリカーボネイト製）が取外し自由で、開口が不要な場合も容易に取替えが可能
⑤	降下風速可変タイプでは、最大0.8 m/s（0.3m/s～0.8 m/sまでの変更が可能）であるため、ブース内の清浄化（立上時間）が早く、生産装置の排気量が多くてもブース周辺空気の流入を防ぐことが可能

　すでに大手デバイスメーカーなど半導体製造ラインへの大規模納入実績も上がっています。
今後は、電子・精密産業からの幅広い需要を掘り起こし、クリーンルームの裾野を拡げていく考えです。

■本件に関するお問い合わせ：

三機工業株式会社

エンジニアリング事業部　営業部

TEL:03-3271-6930

以上