三機工業株式会社(社長:有馬 修一郎)は、半導体工場やFPD(フラットパネルディスプレイ)工場などの大規模クリーンルームを対象とした省エネルギー水噴霧加湿システムである「Econo-Fog One(エコノ フォグ ワン)」を開発しました。加湿にかかるCO2排出量は蒸気式に比べて100分の1以下、二流体を用いた水噴霧加湿システムである「Econo-Fog(エコノ フォグ)」と比べても20分の1以下です。

●システムの特長

1. 優れた省エネ効果
　クリーンルームの発熱を利用して、ミストをクリーンルーム内で直接気化(加湿)することで、外調機での蒸気加湿を低減でき、さらにミストの気化冷却により冷凍機の消費エネルギーが低減され、二重に省エネが図れます。
　10,000m²の半導体工場をモデルに試算した結果では、従来に比べ年間1,900〜5,000トンのCO2排出量削減効果が見込めます。これは半導体工場の空調熱源の年間CO2排出量の約10〜30%に相当します。

2. 少ないCO2排出量
　水1トンを加湿するためのCO2排出量で比較すると、蒸気式では年間160kg-CO2であるのに対し、Econo-Fog Oneでは年間1.2kg-CO2と、100分の1以下の排出量となります。
　またEcono-Fog Oneでは加湿に伴う気化冷却により冷凍機の電力量削減が図れ、さらに100kg-CO2のCO2削減となります。

3. 優れた制御性
　連続的な噴霧量を制御することが難しい高圧一流体ノズルに対し、時間比例制御ロジックを用いてEcono Fog並の優れた制御性を確保しています。

4. ノズルからの水滴の漏洩がない
　特殊な制御機構を用いて、従来噴霧の開始・停止時に見られた、ノズルからの水滴の漏洩を防止します。

5. 既存工場への導入が容易
　既存の空調システムと干渉しない独立したシステムであり、施工も容易なため、生産ラインを止めることなくシステム導入が可能です。